接着,油扩散泵、涡轮分子泵、离子泵、低温泵等新型真空获得设备的出现,促使真空技术进入超高真空时代,质谱仪器的性能指标也得到了显著提高。...
普发真空推出了寿命更长、振动更小、噪声更低的新型 HiPace 80 Neo 涡轮分子泵,同时问世的还有普发真空专为涡轮分子泵转子开发的 Laser Balancing™ 激光动平衡技术。采用这项专利技术的相关真空泵特别适用于包括质谱分析、电子显微术、检漏仪和残余气体分析系统等对振动敏感的应用。...
图4 涡轮分子泵基本结构图图5 涡轮分子泵的动轮叶(a)和静轮(b)1一动轮叶;2一静轮叶;3一泵壳;4—中频电动机;5一底座;6一电动机冷却水管③溅射离子泵 溅射离子泵是基于固体表面对中性气体的化学吸附作用和阴极表面的电清除作用来除掉被抽气体的真空泵。固体表面有吸附气体分子的能力,但是被吸附的分子使固体表面活性中心减少,直到不再有吸附能力。...
图4 涡轮分子泵基本结构图图5 涡轮分子泵的动轮叶(a)和静轮(b)1一动轮叶;2一静轮叶;3一泵壳;4—中频电动机;5一底座;6一电动机冷却水管③溅射离子泵 溅射离子泵是基于固体表面对中性气体的化学吸附作用和阴极表面的电清除作用来除掉被抽气体的真空泵。固体表面有吸附气体分子的能力,但是被吸附的分子使固体表面活性中心减少,直到不再有吸附能力。...
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