结论 利用氦质谱检漏仪,采用相对比对法,可以对氦真空参考漏孔进行校准,满足测试要求精度较低的参考漏孔校准。...
校准系统原理图由真空标准漏孔、漏孔隔离阀及氦质谱检漏仪组成,,漏孔温度由温度计测量。 1.2、校准仪器的选择 为了满足现场校准,便于携带,真空标准漏孔选用薄膜渗氦型标准漏孔。薄膜渗氦型标准漏孔具有对污染不敏感;漏率可以做得很小;重复性、稳定性等计量特性好;对温度变化敏感,使用需要对漏率温度修正等特点。...
氦罩积分法 氦罩积分法是用一个罩子将被检件部分或全部罩起来, 在罩内充入氦气,图2 氦质谱检漏的氦罩法 不难理解氦罩可以看成是一个口径很大的喷咀, 包围了被检件或被检件的一部分, 检漏仪指示的漏率是氦罩包围的被检件(或被检件的部分) 的所有漏孔的漏率总和。氦罩法灵敏度校准可用一支带有阀门的校准漏孔, 在被检件不加氦罩情况下进行。...
图1 校准原理图1 - 正压校准漏孔;2 - 正压校准漏孔氦罩图2 检测原理图(总检)1 - 氦质谱检漏仪;2 - 吸枪;3 - 被检件;4 - 检测氦罩;5 - 氦气源 对于这种情况,就要通过各种单项状态(或少数几项)分别模拟,综合解决。...
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