预览 本文利用等温量热仪对光栅尺的发热特性进行了研究,测定得到了光栅尺读数头在正常工况下的实时发热功率。前言光栅尺,也被称为光栅尺位移传感器,是利用光栅的光学原理工作的测量反馈装置,用于直线位移或者角位移的高精度检测,具有检测范围大、检测精度高、响应速度快等特点。光栅尺常被应用于精密设备的伺服系统中,如光刻机工作台、超高精度机床(数控机床)和先进科学仪器等。...
2、高精度化 数控机床精度的要求现在已经不局限于静态的几何精度,机床的运动精度、热变形以及对振动的监测和补偿越来越获得重视。 近10年来,普通级数控机床的加工精度已由10μm提高到5μm,精密级加工中心则从3~5μm提高到1~1.5μm,并且超精密加工精度已开始进入纳米级(0.001μm)。 ...
如果不了解机器的误差形貌,就无法在制造期间确保工件符合技术规格,在数控机床类设备的装配制造过程中,使用传统的花岗石方尺、千分表、自准直仪,水平仪,标准芯棒及其它计量标准器等虽然历史悠久,但是其多数已经不能满足现代精密制造装配检测的需要,其弱项是检测手段功能单一,检测工序,数据记录和计算多以手工处理,效率低,误差源过多,精度较低或无法溯源。...
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