GB/T 39159-2020
集成电路用高纯铜合金靶材
High purity copper alloy target for integrated circuit
GBT39159-2020, GB39159-2020
- 标准号
- GB/T 39159-2020
- 别名
- GBT39159-2020, GB39159-2020
- 发布
- 2020年
- 发布单位
- 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
- 当前最新
- GB/T 39159-2020
- 引用标准
- GB/T 14265 GB/T 36165 GB/T 8170 GB/T 8651 YS/T 482 YS/T 837
- 适用范围
- 本标准规定了集成电路用高纯铜合金靶材(以下简称划材)的分类.技术要求.试验方法、检验规则及标志、`包装、运输,贮存`质量证明书和订货单(或合同)内容。本标准适用于集成电路制造用的高纯铜铝(CuAl)合金靶材和高纯铜锰(CuMn)合金靶材。
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