半导体镀膜:光刻胶、氧化物、淡化层、绝缘体上硅、晶片背面研磨;液晶显示:间隙厚度、聚酰亚胺、ITO透明导电膜; 光学镀膜:硬涂层、抗反射层;微电子系统:光刻胶、硅系膜状物、印刷电路板; 生物医学:医疗设备、Parylene01半导体行业的应用:电子半导体材料制造,半导体级硅单晶生长、晶片切割、磨抛、清洗设备制造的企业和工厂。...
壹膜厚测量半导体集成电路的生产以数十次至数百次的镀膜、光刻、蚀刻、去膜、平坦等为主要工序,膜层的厚度、均匀性等直接影响芯片的质量和产量,在加工中必须不断地检测及控制膜层的厚度。光学薄膜测厚仪是半导体生产流程中必不可少的设备之一,用于对芯片晶圆及相关半导体材料的镀膜厚度等进行检测。半导体光学薄膜测厚仪技术主要有光谱反射仪和椭偏仪两种。...
部分参展设备Filmetrics F50膜厚测量仪F50可以非常简单地获得最大直径450毫米的样品薄膜厚度分布图。采用r-θ 极坐标移动平台,可以快速定位所需的测试点并且实时获得测试厚度,大约2点/秒。相关应用:半导体制造(光刻胶、氧化物/氮化物/SOI、晶圆背面研磨);LCD 液晶显示器(聚酰亚胺、ITO 透明导电膜);光学镀膜(硬涂层、抗反射层);MEMS 微机电系统(光刻胶、硅系膜层)。...
先进功能材料薄膜厚度、光学常数表征材料/ 表面改性研究粗糙度、孔隙率表征渐变层、界面层等分析穿过率、反射率曲线测量汽车薄膜厚度、光学常数表征表面粗糙度、孔隙率表征渐变层、界面层分析透射率、反射率测量涂层及镀层分析半导体材料硅片上SiO2 薄膜厚度监控光刻胶n,k(190-2100nm)SiN,SiO2 等膜厚测试第三代半导体外延薄膜厚度能源/光伏薄膜厚度、光学常数表征工艺对镀膜的影响分析渐变层、界面层等分析膜层不均匀性成像分析在线监测...
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