ISO 21874:2019
PVD多层硬涂层 - 组成 结构和性能
PVD multi-layer hard coatings — Composition, structure and properties
- 标准号
- ISO 21874:2019
- 发布
- 2019年
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 当前最新
- ISO 21874:2019
- 引用标准
- ISO 14577-1 ISO 20808 ISO 26423 ISO 4545-1 ISO 6507-1 ISO 9220
- 适用范围
- 本标准规定了常用物理气相沉积（PVD）多层硬质涂层的成分、结构和性能的评价标准，指通过蒸发、溅射或相关非化学方式产生材料源的真空沉积方法。
ISO 21874:2019相似标准
推荐
安徽省主导制订一项新的国际标准
目前，国际工业领域主流的PVD多层硬质涂层主要包括过渡族金属氮化物和碳化物，如Ti/TiN, TiN/CrN, CrN/AlCrN, TiC/TiCN, CrAlN/AlCrTiSiN等；在此之前，国际上没有建立与PVD多层硬质涂层的成分、结构及性能相关的标准，从而限制了该领域的进一步发展。...
安徽工业大学新成果提升医用钛合金表面防护效果
但ZrN涂层中存在的柱状晶界和生长缺陷，易为腐蚀介质的渗透提供“通道”，降低其腐蚀和腐蚀磨损性能，限制了其在骨植入件上的进一步应用。 研究团队通过在ZrN涂层中引入金属锆（Zr）层，形成Zr/ZrN多层涂层，降低涂层柱状晶界和生长缺陷，进而提高涂层在模拟人体溶液中的耐蚀和抗腐蚀磨损性能。a Zr/ZrN多层涂层结构示意图，b 腐蚀磨损实验示意图。...
我国学者在低温非外延制备MAX相涂层方面取得进展
Mn+1AXn相（MAX相）是一大类热力学稳定、具有密排六方结构的层状陶瓷材料。M代表前过渡金属（如Ti、V、Cr等）；A代表IIIA或IVA主族元素（如Al、Si等）；X代表C或N。MAX相的独特晶体结构由密堆的M6X八面体层和A原子层交互迭排组成，这一结构使其兼备金属和陶瓷的优良性能，如高导热、可机械加工、高弹性模量、抗氧化、耐腐蚀、抗辐照损伤等。...
薄膜沉积设备工艺升级 差异化布局加速国产化进程
1）PVD：通过真空蒸镀和溅射等物理方法沉积金属或金属化合物薄膜，应用最广泛的PVD 是磁控溅射和离子化PVD，主要用于后段金属互连层、阻挡层、硬掩膜、焊盘等工艺；2）CVD：通过不同气体间化学反应沉积半导体和介质薄膜，部分工艺也可以沉积金属/金属化合物薄膜，主要用于前段的栅氧化层、侧墙、PMD 及后段的IMD、阻挡层、钝化层等工艺。...