GB/T 32999-2016
表面化学分析 深度剖析 用机械轮廓仪栅网复型法测量溅射速率

Surface chemical analysis—Depth profiling—Measurement of sputtering rate: mesh-replica method using a mechanical stylus profilometer

GBT32999-2016, GB32999-2016

非常抱歉，我们暂时无法提供预览，您可以试试： 免费下载 GB/T 32999-2016 前三页，或者稍后再访问。

您也可以尝试购买此标准，
点击右侧 “立即购买” 按钮开始采购（由第三方提供）。

标准号

GB/T 32999-2016

别名

GBT32999-2016, GB32999-2016

发布

2016年

发布单位

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

当前最新

GB/T 32999-2016

 

 

适用范围

本标准规定了利用俄歇电子能谱(AES)和X射线光电子能谱(XPS)测定深度剖析离子溅射速率的方法，试样的离子溅射面积范围为0.4 mm²~3.0 mm²。本标准只适用于横向均匀的休相材料或单层材料，其离子溅射速率由溅射深度与溅射时间确定，溅射深度通过机械探针轮廓仪测得。 本标准提供了一种将深度剖析中的离子溅射时间转换为溅射深度的方法，并假设溅射速率恒定。 本方法不是为扫描探针显微系统设计的，因此不能用扫描探针显微系统评价该方法。本方法不适用于溅射面积小于0.4 mm²的情况，也不适用于溅射诱导的表面粗糙度与被测区域的溅射深度相比较明显的情况。

GB/T 32999-2016相似标准

GB/T 32999-2016 中可能用到的仪器设备