T/ICMTIA 1-2019
集成电路材料产业技术创新联盟气体基础规范

The Integrated Circuit Materials Industry Technology Innovative Alliance—Gas base specification

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标准号: T/ICMTIA 1-2019
发布: 2019年
发布单位: 中国团体标准
当前最新: T/ICMTIA 1-2019

适用范围: 本标准规范了集成电路用气体的检测方法及检验报告的制作，包装与存储要求、安全和环保要求，以及生产过程的基础管理要求等。

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