NS-EN ISO 18452:2016
精细陶瓷(先进陶瓷、先进技术陶瓷)—接触式探针轮廓仪测定陶瓷膜厚度(ISO 18452:2005)

Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics) — Determination of thickness of ceramic films by contact-probe profilometer (ISO 18452:2005)


标准号
NS-EN ISO 18452:2016
发布
2016年
发布单位
SCC
当前最新
NS-EN ISO 18452:2016
 
 
适用范围
ADOPTED_FROM:EN ISO 18452:2016 本国际标准规定了一种通过接触探针轮廓仪测定精细陶瓷薄膜和陶瓷涂层薄膜厚度的方法。该方法适用于 10 nm 至 10 000 nm 范围内的薄膜厚度。

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