T/CASME 134-2022
原子层沉积粉体包覆设备

Atomic layer deposition reactor for particle surface coating


 

 

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标准号
T/CASME 134-2022
发布
2022年
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/CASME 134-2022
 
 
适用范围
本文件规定了原子层沉积粉体包覆设备的型号编制、组成与基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。

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