非常抱歉,我们暂时无法提供预览,您可以试试: 免费下载 ASTM F907-85(1992)e1 前三页,或者稍后再访问。
您也可以尝试购买此标准,
点击右侧 “立即购买” 按钮开始采购(由第三方提供)。
匀胶机是在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上的设备,膜的厚度取决于匀胶机的转速和溶胶的黏度。主要用于晶片涂光刻胶,有自动、手动和半自动三种工作方式。送片盒中的晶片,自动送到承片台上,用真空吸附,在主轴电机的带动下旋转,转速100-9900转/分(±10转/分),起动加速度可调。...
匀胶机是在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上的设备,膜的厚度取决于匀胶机的转速和溶胶的黏度。 概述 该设备主要用于晶片涂光刻胶,有自动、手动和半自动三种工作方式。 送片盒中的晶片,自动送到承片台上,用真空吸附,在主轴电机的带动下旋转,转速100-9900转/分(±10转/分),起动加速度可调。...
匀胶工艺常见问题:问题1:表面出现气泡可能原因:滴胶时胶中带有气泡喷嘴尖端切口有问题或带刺问题2:四周呈现放射状条纹可能原因:胶液喷射速度过高设备排气速度过高胶涂覆前静止时间过长匀胶机转速或加速度设置过高片子表片留有小颗粒胶中有颗粒问题3:中心出现漩涡图案可能原因:设备排气速度过高喷胶时胶液偏离衬底中心旋图时间过长加速度过高问题4:中心出现圆晕可能原因:不合适的托盘,喷嘴偏离衬底中心问题5:胶液未涂满衬底...
Copyright ©2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号