T/ICMTIA 5.3-2020
集成电路用ArF光刻胶光刻检测方法

Lithography ArF Photo Resist of measurement for Intergraded circuits


 

 

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标准号
T/ICMTIA 5.3-2020
发布
2020年
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/ICMTIA 5.3-2020
 
 
适用范围
本文件规定了ArF光刻胶的光刻检测要求及方法、检测标准及包装、运输、存储及环保要求。

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