T/SSEA 0327-2023
半导体制造设备用超高纯度不锈钢棒

Ultra-high purity stainless steel rods for semiconductor manufacturing equipment

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标准号

T/SSEA 0327-2023

发布

2023年

发布单位

中国团体标准

当前最新

T/SSEA 0327-2023

 

 

适用范围

本文件规定了半导体制造设备用超高纯度不锈钢棒（圆钢、方钢、扁钢、六角钢的总称，以下简称钢棒）的分类、订货内容、尺寸、外形、重量、技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志和质量证明书。 本文件适用于半导体制造设备阀门和钢管用尺寸（直径、边长、厚度或对边距离，以下简称尺寸）不大于150mm的超高纯度不锈钢热轧钢棒、冷拉坯料和冷拉钢棒

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