GB/T 2900.104-2021
电工术语 微机电装置

Electrotechnical terminology—Micro-electromechanical devices

GBT2900.104-2021, GB2900.104-2021


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GB/T 2900.104-2021

标准号
GB/T 2900.104-2021
别名
GBT2900.104-2021
GB2900.104-2021
发布
2021年
采用标准
IEC 60050-523:2018 IDT
发布单位
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
当前最新
GB/T 2900.104-2021
 
 
本文件界定了微机电装置的通用、科学与工程、材料科学、功能元素、加工技术、键合装配技术、测量技术和应用相关术语。 本文件适用于微机电技术领域。

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