T/CCGA 30004-2019
电子级八氟环丁烷
Electronic grade perfluorocyclobutane
- 标准号
- T/CCGA 30004-2019
- 发布
- 2019年
- 发布单位
- 中国团体标准
- 当前最新
- T/CCGA 30004-2019
- 适用范围
- 本标准规定了电子级八氟环丁烷产品的分类和型号，技术要求，试验方法，检验规则，标志、包装、运输、贮存等。 本标准适用于工业八氟环丁烷通过吸附纯化、精馏提纯生产的电子级八氟环丁烷产品。该产品是电子行业蚀刻气体。
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