T/CNIA 0014-2019
多晶硅生产用瓷环

Porcelain rings for polysilicon production

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标准号

T/CNIA 0014-2019

发布

2019年

发布单位

中国团体标准

当前最新

T/CNIA 0014-2019

 

 

适用范围

本标准规定了多晶硅生产用氮化硅瓷环的分类、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单（或合同）内容。 本标准适用于多晶硅生产用氮化硅瓷环(以下简称瓷环)。

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