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除了硬度、模量以外，纳米压痕仪还能测量材料的粘弹性。图3左图显示了准静态方法测量的薄膜蠕变。结果显示载荷保持为40µN时，压深逐渐增大，基本满足蠕变的指数关系。通过公式拟合，可获得初始蠕变率和稳态蠕变率，以及蠕变指数等参数，用于表征材料的粘弹性。纳米压痕获得的蠕变结果与宏观FOW拉伸法得到的蠕变结果（中、右图）相似。建基于抗体的病毒-二茂铁复合物表征薄膜的粘弹性，更通常的方法是动态法。...
(2)应变梯度理论：材料硬度H 依赖于压头压人被测材料的深度h，并且随着压人深度的减小而增大，因此具有尺度效应。该方法适用于具有塑性的晶体材料。但该方法无法计算材料的弹性模量。 (3)Hainsworth方法：由于卸载过程通常被认为是一个纯弹性过程，可以从卸载曲线求出材料弹性模量，并且可以根据卸载后的压痕残余变形求出材料的硬度。...
利用纳米压痕仪测试不仅可以获得硬度、弹性模量，还可以获得塑性参数、断裂参数、黏弹参数等。 （5）纳米压痕仪应用范围广。可广泛应用于金属、陶瓷、薄膜材料、复合材料、生物材料、特殊功能材料、微机电系统中微构件等众多材料和结构的力学测试。...
随着纳米压痕技术的不断发展和完善，压痕仪在材料力学性能的研究中得到了广泛应用。它不但可以给出材料的硬度和弹性模量值，而且可以定量表征材料的流变应力和形变硬化特征、摩擦磨损性能、阻尼和内耗特性(包括储存模量和损失模量值)、蠕变的激活能和应变速率敏感指数、脆性材料的断裂韧性、材料中的残余应力、材料中压力诱发相变的问题、薄膜材料的力学性能等。...
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