T/QGCML 3970-2024
半导体车间金属粉尘智能检测分析系统

Semiconductor workshop metal dust intelligent detection and analysis system

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标准号: T/QGCML 3970-2024
发布: 2024年
发布单位: 中国团体标准
当前最新: T/QGCML 3970-2024

适用范围: 本文件规定了半导体车间金属粉尘智能检测分析系统的术语和定义、基本要求、运行环境及功能、模块功能、运行测试。本文件适用于半导体车间金属粉尘智能检测分析系统的设计及应用。

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