DIN EN 62047-11:2014-04
半导体器件-微机电器件-第11部分：微机电系统自支撑材料线性热膨胀系数的测试方法
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 11: Test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems (IEC 62047-11:2013); German version EN 62047-11:2013
- 标准号
- DIN EN 62047-11:2014-04
- 发布
- 2014年
- 发布单位
- 德国标准化学会
- 当前最新
- DIN EN 62047-11:2014-04
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