T/NXCL 28-2024
半导体级单晶硅生长用合成石英坩埚

Synthetic quartz crucible for semiconductor grade monocrystalline silicon growth


 

 

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标准号
T/NXCL 28-2024
发布
2024年
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/NXCL 28-2024
 
 
适用范围
本文件规定了半导体级单晶硅生长用合成石英坩埚的术语和定义、规格尺寸、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存等方面的内容。 本文件适用于合成石英砂(成分:二氧化硅)为内层原料,采用电弧熔融法工艺生产,应用于直拉法半导体级单晶硅生长的石英坩埚。

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