配备X射线能谱仪的扫描电子显微镜不仅能够观察材料的微观形貌还可对微区成分进行分析，现已广泛应用于材料分析测试领域。提高能谱仪定量分析的准确度，是科学研究和工业生产的重要课题。...
X射线分光系统分为两种：一种是利用分光晶体(布拉格衍射定律)检测特征X射线波长的波谱仪(简称WDS)，是电子探针主要的检测方式；另一种是利用硅半导体检测器直接检测X射线能量的能谱仪(简称EDS)。一般将EDS作为附件安装在扫描电子显微镜上检测元素，有时也用作电子探针的辅助检验手段。 ...
利用扫描电子显微镜明晰植物花粉的形态差异性可为植物的系统进化、分类及亲缘关系研究奠定一定的理论基础。图1：花粉二、硅藻检验扫描电镜具有高分辨率、大景深、对样品无损等优异性能，并可以与X-射线能谱仪联用，使其能够快速对微小物质的表面形貌及微区成分进行全面分析，从而为法医学提供客观依据，为刑侦鉴定提供线索。...
布鲁克XFlash系列能谱仪配合扫描电镜可获得物证微区的形貌及对应的化学成分，结合扫描电镜背散射电子图像提供专业的枪击残留物分析（GSR）功能；布鲁克独家的微区XRF使扫描电镜的成份分析能力提高到了10 ppm水平，这种痕量元素分析能力可以更精确的确定物证中的特征成份以帮助寻找物证来源。...
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