T/CSTM 00313-2021
基于光谱反演的光学薄膜常数测试方法
Testing method of optical constants for 0ptical thin films based on spectro-photo-metric method
- 标准号
- T/CSTM 00313-2021
- 发布
- 2021年
- 发布单位
- 中国团体标准
- 当前最新
- T/CSTM 00313-2021
- 适用范围
- 本文件规定了采用光谱法测定单层光学薄膜的光谱特性，并以此反演出膜层光学常数的测试方法。 本文件适用于50nm～5000nm的介质光学薄膜和基片，薄膜为氧化物、氟化物、硫化物等化合物，基片为各种可见光透明光学玻璃、可见光透明各向同性晶体。
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