T/CHBAS 42-2023
电子工业用气体 磷烷混合气

Gas phospane mixture for electronic industry


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标准号
T/CHBAS 42-2023
发布
2023年
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/CHBAS 42-2023
 
 
本文件规定了电子工业用气体磷烷混合气（以下简称磷烷混合气）的技术要求、试验方法、检 验规则、标志、包装、运输和储存及安全等。 本文件适用于电子工业用磷烷混合气，主要用作外延工艺的掺杂源、扩散工艺的扩散源和离子 注入源。磷烷混合气中平衡气多为氦气、氩气、氮气、氢气，也可以是其他不与磷烷发生化学反应， 且不影响反应工艺的气体。

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