T/CNIA 0114-2021
改良西门子法多晶硅副产品 六氯乙硅烷

Hexachlorodisilane, a by-product of modified Siemens process polysilicon


 

 

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标准号
T/CNIA 0114-2021
发布
2021年
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/CNIA 0114-2021
 
 
适用范围
本文件规定了改良西门子法多晶硅副产品六氯乙硅烷的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。 本文件适用于改良西门子法多晶硅生产过程中产生的副产品六氯乙硅烷。

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