GB/T 34481-2017
低位错密度锗单晶片腐蚀坑密度(EPD)的测量方法

Test method for measuring etch pit density (EPD) in low dislocation density monocrystalline germanium slices

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标准号

GB/T 34481-2017

发布日期

2017年10月14日

实施日期

2018年07月01日

废止日期

无

中国标准分类号

H25

国际标准分类号

77.040

发布单位

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

GB/T 34481-2017系列标准