ISO 23131:2021
椭偏测量原理
Ellipsometry — Principles
- 标准号
- ISO 23131:2021
- 发布
- 2021年
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 当前最新
- ISO 23131:2021
- 适用范围
- 本文件规定了通过认可的测试实验室确定紫外-可见-近红外光谱范围内的光学和介电常数以及在线生产控制、质量保证和材料开发领域的层厚度的方法。 它适用于独立的测量系统。 结果不确定度的表示符合ISO/IEC Guide 98-3。
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