机械探针是接触式测量，易损伤被测表面； ②光学探针式测量方法： 光学探针式测量方法原理上类似于机械探针式测量方法，只不过探针是聚集光束。根据采用的光学原理不同，光学探针可分为几何光学原理型和物理光学原理型两种。几何光学探针利用像面共轭特性来检测表面形貌,，有共焦显微镜和离焦检测两种方法：物理光学探针利用干涉原理通过测量程差来检测表面形貌，有外差干涉和微分干涉两种方法。...
机械探针是接触式测量，易损伤被测表面； ②光学探针式测量方法： 光学探针式测量方法原理上类似于机械探针式测量方法，只不过探针是聚集光束。根据采用的光学原理不同，光学探针可分为几何光学原理型和物理光学原理型两种。几何光学探针利用像面共轭特性来检测表面形貌,，有共焦显微镜和离焦检测两种方法：物理光学探针利用干涉原理通过测量程差来检测表面形貌，有外差干涉和微分干涉两种方法。...
利用基于数学形态学算法，通过数值模拟，研究影响原子力显微镜粗糙度测量的探针和样品的几何因素。分析中同时考虑针尖曲率半径、被测样品表面的原始相关长度、标准偏差和高度分布形态等综合因素。并且从实验上表明了扫描速率对表观图像质量和测量粗糙度的影响。这部分工作在AFM扫描图像定量评价上有重要意义。...
探针显微针是用一特殊金属针在表面扫描，徕卡体视显微镜通过阅量探针与表面的相互作用而探究出表面的形貌。sTM的问世是由于需要一种仪器来探测半导体表面氧化物的分布。徕卡体视显微镜满足了这种需要，通过测量金属针与表面之间的电子隧道电流可以监泅金属针一表面的距离，从而反映出表面的高低起伏。几年以后，BLn吨及其同事又宣布，探针显檄镜家族的第二个成员一扫描力显微镜问世，3PM亦称原子力显微镜。...
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