干式螺杆真空泵由于其优越的性能，在欧美和日本已经成为微电子、半导体、制药、精密加工等行业首选真空获得设备，日本在螺杆压缩机基础上，很早就研发出了真空泵的多头转子型线，并投入市场。德国几家真空设备公司也逐步的开发出了等螺距、变螺距转子型线，并在转子和机体冷却方面做了很多研究。中国企业在2008年也将螺杆真空泵的生产进入批量化生产，在化工制药等行业得到很好的应用。...
1、国内螺杆真空泵的企业，从2004年起便开始进行型线与结构性能方面的研究。在2007年国内干式螺杆真空泵的市场基本被国外厂家占据的时候，国内公司投入大量资金将该产品转入批量化的生产，并得到国家的大力支持获得各类省级国家级科技奖项和资金。LG干式螺杆真空泵极限真空更高，消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。它是油封式/喷射式/水环式真空泵的更新换代产品，在国内各大制药和化工企业得到大量应用。...
等螺距螺杆泵由于无内压缩过程，排气温度非常高，如冷却效果不好，会造成转子和机壳变形，影响抽气效果。冷却机壳是必不可少的一个环节，水冷是常见的方法，在机壳本体、轴承外侧通冷却水，可以达到冷却壳体进而冷却转子的目的。优势干式运行，无接触螺杆真空泵。易于维修。噪音低。可提供不同的涂层以增强耐腐蚀性。特别适用于溶剂回收和干燥过程。具有固定螺距的螺杆转子。机械密封和双唇PTFE密封的组合可确保大的轴密封性。...
螺旋型无油机械真空泵，螺旋型无油机械真空泵比螺杆泵的转子型线简单, 一般为单头矩形螺旋线, 可采用等螺距或变螺距的转子。这种泵有立式和卧式两种结构, 抽气原理是相同的。被抽气体从泵口进入泵腔, 在泵腔内被高速旋转的转子压缩, 矩形断面的转子之间、转子与泵腔之间形成螺旋密封, 间隙小, 泄漏少, 可得到较高的压缩比。由于它的螺旋圈数多, 比螺杆型无油泵压缩比高, 可从大气压抽到0.1 Pa 。...
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