T/ZS 0344-2022
数字化无掩模激光直写光刻机

Digital maskless laser direct imaging lithography machine

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标准号

T/ZS 0344-2022

发布

2022年

发布单位

中国团体标准

当前最新

T/ZS 0344-2022

 

 

适用范围

前言　 1 范围　 2 规范性引用文件　 3 术语和定义　 4 产品分类　 5 工作环境　 6 要求　 6.1 外观、尺寸和重量　 6.2 主要性能　 6.3 安全要求　 6.4 噪声　 7 试验方法　 7.1 试验条件　 7.2 外观检查及尺寸、重量测量　 7.3 性能试验　 7.4 安全检查　 7.5 噪声试验　 8 检验规则　 8.1 检验分类　 8.2 出厂检验　 8.3 型式检验　 8.4 判定规则　 9 标志、包装、运输、贮存　 9.1 标志　 9.2 包装　 9.3 运输　 9.4 贮存　

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