用于半导体制造设备的机器人和装载端口的安全指南, 您可以免费下载预览页
以下是一些关于采样间隔选取的指南。 八、培训 即使有了改进的采样端口和更容易的采样方式,操作者依然需要为合理的样本采样负责。 为每类设备制定标准的工作指令。如果采样点 在密闭空间或靠近旋转组件,还需要执行额外的安全程序,如锁定/标记输出系统。经验丰富的 油样取样者应该与受训者一起完成一个过程,对每个机器的采样给出具体指导和建议。...
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