接着，油扩散泵、涡轮分子泵、离子泵、低温泵等新型真空获得设备的出现，促使真空技术进入超高真空时代，质谱仪器的性能指标也得到了显著提高。...
5）检查泵是否能够在正常的时间内抽到极限真空，观察真空泵运行时是否产生杂音，真空泵油和泵头上的个链接部分是否存在松动现象，如有问题进行处理。6）每周打开真空泵气振阀,在空载的情况下运行2小时左右检查泵体是否漏油，工作是否有杂音，如有问题进行处理。7）真空泵油需定期更换，其周期一般为一年一次，一定要正确地使用规定的真空泵油，否则将使泵的性能降低，甚至可能造成真空泵损坏。...
8、重装后须进行试运转和必要的性能测试，待正常后才能安装使用。 注：罗茨真空泵标准号：Q3204AVT002。...
这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。 6、干式机械真空泵：国外干式机械真空泵市场的不断增长，其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。 ...
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