如MEMS陀螺仪应用在汽车上对汽车进行控制,近年随着技术的进步,MEMS陀螺仪芯片已大量用于手机等终端设备中,IEC/TC47/SC47F也制定IEC 62047-20《半导体器件微电子微机械器件第20部分:陀螺仪》标准来规范手机用MEMS陀螺仪芯片的生产与测试;以及IEC 62047-5《半导体器件微电子微机械器件第5部分:RF MEMS开关》用来规范通信设备用射频MEMS开关的参数要求和测试方法...
GlobalFoundries、意法半导体、TowerJazz,以及联电是RF SOI代工业务的领军企业。因此,OEM在组件供应商和代工产品方面有多种选择。通常,代工厂提供RF SOI工艺,从180nm到45nm的节点,以及不同的硅片尺寸。决定使用哪个节点取决于具体应用。...
图 25 MEMS 平均价格的变化曲线5、我国 MEMS 产业链完整,能力较薄弱,但发展前景乐观我国基本形成了完整的MEMS 产业链,设计厂商有MEMSIC 半导体、硅睿科技、敏芯微电子等;代工厂商有中芯国际、华虹宏力、CSMC、ASMC、耐威科技等;封装测试厂商有长电科技、华天科技、通富微电、晶方科技等。...
新时代RF MEMS开关的用途和问题 在低功率和高功率 RF 之间切换的能力是软件可定义无线电以及 RF 天线适配等方向的重要功能。RF-MEMS 的机会提供了进行此类切换的能力,同时显着提高了效率和外形尺寸。这种类型的开关可以通过接触式 MEMS 设备来完成,这些 MEMS 设备可以形成和断开成排的机械接触。 ...
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