ASTM F25/F25M-09
电子及类似用途用的清洁室及其它防尘区域空气中粒状杂质的筛分和计算的标准试验方法
Standard Test Method for Sizing and Counting Airborne Particulate Contamination in Cleanrooms and Other Dust-Controlled Areas
- 标准号
- ASTM F25/F25M-09
- 发布
- 2009年
- 发布单位
- 美国材料与试验协会
- 替代标准
- ASTM F25/F25M-09(2015)
- 当前最新
- ASTM F25/F25M-21
- 引用标准
- ASTM F50 ISO 14644-1
- 适用范围
- 1.1 本测试方法涵盖对空气中 5 米及以上颗粒物（大颗粒）进行计数和分级。采样区域特别是具有洁净室和粉尘控制区域典型污染水平的区域。
1.2 以 SI 单位或英寸-磅单位表示的值应单独视为标准。每个系统中规定的值可能并不完全相同；因此，每个系统应独立使用。组合两个系统的值可能会导致不符合标准。
1.3 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定法规要求的适用性。