ISO 14644-1:2015
洁净室和相关控制环境.第1部分:颗粒物浓度的空气洁净度分级
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 1: Classification of air cleanliness by particle concentration
- 标准号
- ISO 14644-1:2015
- 发布
- 2015年
- 中文版
- GB/T 25915.1-2021 (修改采用的中文版本)
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 当前最新
- ISO 14644-1:2015
- 引用标准
- ASTM F312-08 IEST-G-CC1003 IEST-G-CC1004 ISO 14644-2:2015 ISO 14644-7:2004 ISO 21501-4:2007 JIS B 9920:2002
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