由于二次电子的能量较小，运动的速度较慢，不能像金相显微镜或透射电子显微镜那样聚焦成像，只能通过逐点扫描，点点对应成像。扫描电子显微镜的放大倍数和分辨力虽然没有透射电子显微镜高，但是也能放大几十万倍，可以看到几个纳米的物体，用于测量大于10nm的颗粒物是可行的。更重要的是：扫描电子显微镜可以观察很厚的样品，容易制造长度标准器具。已有合理合法的供扫描电子显微镜使用的长度标准器具。...
原子力显微镜测量粒子直径范围为1nm~8mm。 此外，透射电镜法与原子力显微镜法测定纳米粒子的粒径的准确性与纳米粒子的分散性，观察者本身的局限性有关。一些团聚体可能被误认为一次颗粒，影响了测量准确性。所以，透射电镜法和原子力显微镜法的粒径测量值有可能会大于实际粒径值。 X 射线衍射法、透射电子显微镜法、原子力显微镜法三种测量方法都有自身特点,没有一种方法是能够适用于所有情况的通用方法。...
透射电镜比较适合纳米粉体样品的形貌分析，但颗粒大小应小于300nm，否则电子束就不能透过了。对块体样品的分析，透射电镜一般需要对样品进行减薄处理。透射电镜可用于观测微粒的尺寸、形态、粒径大小、分布状况、粒径分布范围等，并用统计平均方法计算粒径，一般的电镜观察的是产物粒子的颗粒度而不是晶粒度。...
原子力显微镜测量粒子直径范围约为0.1nm~数十纳米。 此外，透射电镜法与原子力显微镜法测定纳米粒子的粒径的准确性与纳米粒子的分散性，观察者本身的局限性有关。一些团聚体可能被误认为一次颗粒，影响了测量准确性。所以，透射电镜法和原子力显微镜法的粒径测量值有可能会大于实际粒径值。...
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