ASTM F1241-95(2000)由/ 发布于 0000-00-00,并于 0000-00-00 实施。
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1.1 本术语涵盖与半导体级硅晶体和晶圆相关的术语和定义。
1.2 本术语涵盖描述 SEMI 规范 M1 和 SEMI 格式 M18 中指定的硅晶圆属性的术语。这些属性包括抛光和外延晶圆的电气、结构、化学和机械特性以及表面缺陷和污染。
1.3 本术语适用于硅材料的研究、开发、过程控制、采购和检验。
1.4 本标准中包含的术语和定义最初摘自与硅技术相关的其他 ASTM 标准。这些术语的原始来源标准通过紧随定义之后的名称来标识。所有此类标准均可在本卷《ASTM 标准年鉴》中找到。最近,新的或修订的术语和定义已直接投票纳入本标准;这些术语的定义后没有指定名称。
1.5 几乎所有列出的术语都是名词;在其他情况下,词性紧接在术语之后明确给出。
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