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为此,相继出现了扫描电子显微镜——电子探针多种分析功能的组合型仪器，如常与EDS(X射线能谱仪)联用，对材料进行定性半定量分析。 （4）扫描电子显微镜分辨率可达纳米级别，可对纳米材料进行观察。 纳米材料的一切独特性能主要源于它的超微尺寸,通过使用高分辨率的SEM对纳米级材料进行形貌观察和尺寸检测，对纳米材料的研究及应用起到了基础性的作用。...
通过探针可以操纵和移动单个分子或原子，按照人们的意愿排布分子和原子，以及实现对表面进行纳米尺度的微加工，同时，在测量样品表面形貌时，可以得到表面的扫描隧道谱，用以研究表面电子结构。扫描原子力显微镜（AFM）可以对纳米薄膜进行形貌分析，分辨率可以达到几十纳米，比STM差，但适合导体和非导体样品，不适合纳米粉体的形貌分析。...
目前，纳米材料已成为材料研发以及产业化最基本的构成部分，其中纳米材料的粒度则是其最重要的表征参数之一。本文根据不同的测试原理阐述了8种纳米材料粒度测试方法，并分析了不同粒度测试方法的优缺点及适用范围。 1.电子显微镜法 电子显微镜法是对纳米材料尺寸、形貌、表面结构和微区化学成分研究最常用的方法， 一般包括扫描电子显微镜法（SEM） 和透射电子显微镜法（TEM）。...
根据材料颗粒度的不同，既可采用一般的光学显微镜，也可以采用电子显微镜。光学显微镜测定防卫为0.8~150ųm，小于0.8ųm者必须用电子显微镜观察。扫描电镜和透射电子显微镜常用于直接观察大小在1nm~5ųm范围内的颗粒，适合纳里材料的粒度大小和形貌分析。显微镜法可以了解在制备过程中颗粒的形状，绘出特定表面的粒度分布图，而不只是平均粒度的分布图。...
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