IEC 62047-30:2017
半导体器件 - 微机电器件 - 第30部分:MEMS压电薄膜机电转换特性的测量方法
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 30: Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film
- 标准号
- IEC 62047-30:2017
- 发布
- 2017年
- 发布单位
- 国际电工委员会
- 当前最新
- IEC 62047-30:2017
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