T/CIET 325-2023
GW级异质结电池板式PECVD设备规范

Specifications for GW-level heterojunction cell plate PECVD equipment


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标准号
T/CIET 325-2023
发布
2023年
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/CIET 325-2023
 
 
本文件规定了GW级异质结电池板式PECVD设备的术语和定义、型号及命名、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于GW级异质结电池板式PECVD设备。

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