BS ISO 22278:2020
精细陶瓷（先进陶瓷、先进技术陶瓷） 采用平行X射线束X射线衍射法测定单晶薄膜（晶片）结晶质量的测试方法
Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics). Test method for crystalline quality of single-crystal thin film (wafer) using XRD method with parallel X-ray beam
- 标准号
- BS ISO 22278:2020
- 发布
- 2020年
- 发布单位
- 英国标准学会
- 当前最新
- BS ISO 22278:2020
- 适用范围
- ISO 22278 是什么？ ISO 22278 规定了使用平行 X 射线束 XRD 方法测量单晶薄膜（晶圆）晶体质量的测试方法。 ISO 22278适用于所有作为块体或外延层结构的单晶薄膜（晶圆）。 ISO 22278 适合谁？关于单晶薄膜晶体质量的 ISO 22278 适用于： 陶瓷制造商 机械工程师
BS ISO 22278:2020相似标准
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