ISO/TR 22335:2007
表面化学分析.深度剖面.溅射速率测量:使用机械光针式轮廓仪的网眼复制法
Surface chemical analysis - Depth profiling - Measurement of sputtering rate: mesh-replica method using a mechanical stylus profilometer
- 标准号
- ISO/TR 22335:2007
- 发布
- 2007年
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 当前最新
- ISO/TR 22335:2007
- 适用范围
- 本技术报告描述了一种使用俄歇电子能谱 (AES) 和 X 射线光电子能谱 (XPS) 确定深度剖析测量的离子溅射速率的方法，其中样品在面积为 0.4 mm2 之间的区域上进行离子溅射和 3.0 毫米2。本技术报告仅适用于横向均匀块体或单层材料，其中离子溅射速率由机械触针轮廓仪测量的溅射深度和溅射时间确定。本技术报告提供了一种通过假设恒定溅射速度将离子溅射时间尺度转换为深度剖面中的溅射深度的方法。该方法尚未设计用于扫描探针显微镜系统，也未使用扫描探针显微镜系统进行测试。不适用于溅射面积小于 0.4 mm2 或溅射引起的表面粗糙度与要测量的溅射深度相比显着的情况