ISO 22581:2021
表面化学分析X射线光电子能谱测量扫描的近实时信息含碳化合物表面污染的识别和校正规则
Surface chemical analysis — Near real-time information from the X-ray photoelectron spectroscopy survey scan — Rules for identification of, and correction for, surface contamination by carbon-containi
- 标准号
- ISO 22581:2021
- 发布
- 2021年
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 当前最新
- ISO 22581:2021
- 适用范围
- 提供本文件是为了帮助对材料上的薄膜进行表面分析，这些材料不被认为含有碳化合物作为预期成分，但在调查光谱中观察到 C1s 峰。 这些薄膜可以是通过有氧或电化学氧化在金属和合金上生成的薄膜，也可以是沉积在惰性基材上的薄膜。 所描述的过程不适用于颗粒在基底上的不连续沉积。 除了这个例外，还提供了一个简单的程序来识别来自含碳表面污染物的 C1s 信号。 当 C1s 峰被识别为由偶然的覆盖层产生时，可以校正从测量光谱得出的成分的影响。 推荐的程序以“如果-那么”格式构造的简单规则的形式提供，其目的是它们所包含的信息可以被数据系统中的自动化程序所利用。 所提供的规则仅利用从 XPS 调查扫描中检索到的信息。