物理气相沉积(PVD)涂层已经大规模应用于高速切削刀具和精密模具领域,由于具有高的膜-基结合力、硬度和耐磨性,物理气相沉积多层硬质涂层可以数倍地提高刀具和模具的使用寿命。...
一些材料如硅,可以通过掺杂表面(改变或添加额外的化学物质)来进一步增强涂层的功能,以达到特定的性能目标。化学气相沉积不同于物理气相沉积(PVD)等其他常见的涂层应用方法,与化学气相沉积相比,大多数常见的涂层喷涂工艺会导致视线外盲区不均匀的涂覆存在,化学气相沉积涂层理论上可以应用于涂层气体能进入的任何区域,上图形象表示出两种涂覆的区别。...
化学气相沉积技术是把含有构成薄膜元素的单质气体或化合物供给基体,借助气相作用或基体表面上的化学反应,在基体上制出金属或化合物薄膜的方法,主要包括常压化学气相沉积、低压化学气相沉积和兼有CVD和PVD两者特点的等离子化学气相沉积等。...
化学气相沉积技术是把含有构成薄膜元素的单质气体或化合物供给基体,借助气相作用或基体表面上的化学反应,在基体上制出金属或化合物薄膜的方法,主要包括常压化学气相沉积、低压化学气相沉积和兼有CVD和PVD两者特点的等离子化学气相沉积等。...
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