T/DLSHXH 008-2022
电子特气双（二乙基氨基）硅烷

Electronic special gas bis(diethylamino)silane

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标准号: T/DLSHXH 008-2022
发布: 2022年
发布单位: 中国团体标准
当前最新: T/DLSHXH 008-2022

适用范围: 本标准规定了双（二乙基氨基）硅烷的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、贮运和安全信息。本标准适用于以工业级双（二乙基氨基）硅烷为原料，经精馏、过滤提纯制得的电子级成品双（二乙基氨基）硅烷。该产品主要用于低温制备SiO2膜和硅基高介电薄膜的前驱体。

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