电子工业用气体 硅烷, 您可以免费下载预览页
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电子气体是超大规模集成电路、平面显示器件,化合物半导体器件,太阳能电池,光纤等电子工业生产不可缺少的原材料,广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。 硅烷,即硅与氢的化合物,是一系列化合物的总称,包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些更的硅氢化合物,是一种气体源,也可用于制造各种高纯度金属硅化物。...
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