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相关应用:二氧化硅和氮化物,高介电和低介电材料,非晶和多晶材料,硅薄膜,光刻胶。高和低指数薄膜,如 SiO2, TiO2, Ta2O5, MgF2 。TCO(如 ITO),非晶硅薄膜,有机薄 膜(OLED 技术)等Profilm 3D 白光干涉光学轮廓仪Profilm3D 使用先进的垂直干涉扫描 (WLI) 与高精度的相位干涉 (PSI) 技术。实现次纳米级的表面形貌研究。...
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