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从整个集成电路范畴讲,除半导体集成电路外,还有厚膜电路与薄膜电路。 ①厚膜电路。以陶瓷为基片,用丝网印刷和烧结等工艺手段制备无源元件和互连导线,然后与晶体管、二极管和集成电路芯片以及分立电容等元件混合组装而成。 ②薄膜电路。有全膜和混合之分。所谓全膜电路,就是指构成一个完整电路所需的全部有源元件、无源元件和互连导体,皆用薄膜工艺在绝缘基片上制成。...
根据《工业和信息化部2013年四季度电子行业标准制修订计划(征求意见稿)》,涉及电子行业标准共6项,分别为电动汽车用半导体集成电路应力试验程序、电动汽车用半导体分立器件应力试验程序、电动汽车电机控制器用高压电容器选型规范、电动汽车驱动电机系统用金属化薄膜电容器通用规范、电动汽车电机控制器用母线通用规范和电动汽车用双向逆变充放电式电机控制器。...
(注:皮秒=兆分之一秒)图3:某品牌光刻机内部示意图薄膜沉积设备薄膜沉积指在晶圆表面生成多种薄膜,这些薄膜可以是绝缘体、半导体或导体。它们由不同的材料组成,是使用多种工艺生长或沉积的。通用的沉积技术有化学气相淀积(CVD)、蒸发和溅射PVD。一般来说,其中还要夹杂低温(≤500℃)退火工艺等热处理工艺,用以增进金属层和半导体之间的低电阻接触、消除内应力等。...
42709.7-2023半导体器件 微电子机械器件 第7部分:用于射频控制和选择的MEMS体声波滤波器和双工器2023/5/232023/12/1 国家标准《半导体晶片电阻率及半导体薄膜薄层电阻的测试 非接触涡流法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准化管理委员会。 ...
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