另一种能量色散EDS的荧光法常与扫描电镜联用 EDS是半定量分析,误差一般在5%~10%左右,是自动判断出元素后需要根据样品,人为的添加或去除某些不可能存在的元素,如果元素一点都没有显示也是0,这个还是具有一点的参考值,EDS是利用电子激发原子内层电子产生空位,更高原子能级电子跃迁产生特征X射线,从而进行元素分析。...
另一种能量色散EDS的荧光法常与扫描电镜联用EDS是半定量分析,误差一般在5%~10%左右,是自动判断出元素后需要根据样品,人为的添加或去除某些不可能存在的元素,如果元素一点都没有显示也是0,这个还是具有一点的参考值,EDS是利用电子激发原子内层电子产生空位,更高原子能级电子跃迁产生特征X射线,从而进行元素分析。...
能量色散X射线谱仪(EDS) EDS是能量色散X射线谱仪,简称能谱仪,常用作扫描电镜或透射电镜的微区成分分析。利用发射出来的特征X射线能量不同而进行的元素分析,称为能量色散法。X射线能谱仪的主要构成单元是Si(Li)半导体检测器,即锂飘移硅半导体检测器和多道脉冲分析器。目前还不能用于分析超轻元素(O、N、C等)。...
主要用于元素的定性分析;能谱仪能够分析原子序数大于5的元素,波谱仪可以分析原子序数从4~92之间的所有元素;EDS的分析方式有点分析、线分析和面分析;点分析得到一点的所有元素;线分析每次对指定的一条线做一种元素分析,多次扫描得到所有元素的线分布;面分析对一个指定面内的所有元素分析,测得元素含量是测量面范围的平均值;EDS做微区分析时所激发的体积为10um3 左右;EDS常常与SEM结合使用,可对目标部位进行点...
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