DIN EN 62047-16:2015
半导体器件微机电器件第16部分：确定MEMS薄膜残余应力的测试方法晶圆曲率和悬臂梁偏转方法（IEC 62047-16:2015）

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 16: Test methods for determining residual stresses of MEMS films - Wafer curvature and cantilever beam deflection methods (IEC 62047-16:2015); German version EN 62047-16:2015

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标准号: DIN EN 62047-16:2015
发布: 2015年
发布单位: SCC
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