检漏仪主要的目的是检查一个真空腔体各个密封处是否有泄漏、漏气的地方。在这个密封腔体内充满氦气，用质谱检漏仪在不腔体外，不同部位检测，如果密封存在问题，则有氦气泄漏，被质谱仪检测到。质谱检漏仪是一种简易的质谱仪，对分辨率和检测的质量范围要求很低，但对灵敏度要求较高。楼上的回答则是质谱仪中的一种磁质谱仪的原理和分析过程。...
为了保证产品竞争，许多厂家引进了氦气检漏仪，对于目前常用的检漏方法，氦气检漏法被公认为最先进可靠的方法之一。 二、阀门检漏方法 氦质谱检漏仪同时拥有两种检漏模式真空模式及正压模式，可根据客户不同需求，选择不同的检漏方法。阀门多采用检漏仪的负压模式既真空模式检漏，其最小可检查漏率为5X10-12 mbar l/s。 三、阀门检漏操作 1.工作人员用波纹管连接待检测的直通阀与氦质谱检漏仪。 ...
1.2 氦质谱检漏仪工作原理 氦质谱检漏仪是先将采集到的气体在质谱室中电离，利用不同荷质比的离子具有不同的电磁特性将示踪气体氦分离检测。...
密封方式采用氟橡胶圈或金属垫片密封，橡胶圈的密封寿命有限，使用5 年以上时，有可能会存在密封失效的问题。③各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的金属垫片密封或橡胶圈密封。 (2)定位方法 采用喷吹法对各密封部位的气密性进行检测，因L200+ 检漏仪内部结构紧凑，各密封结构间的距离很近，检测时定位难度较大。...
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